ସୁପର ଏକ୍ସ-ରେ କ୍ଷେତ୍ରୀୟ ଘନତା ମାପ ଗଜ
ମାପର ନୀତିଗୁଡ଼ିକ
ଯେତେବେଳେ ରଶ୍ମି ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡକୁ ବିକିରଣ କରେ, ରଶ୍ମି ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ ଦ୍ୱାରା ଶୋଷିତ, ପ୍ରତିଫଳିତ ଏବଂ ବିଚ୍ଛୁରିତ ହେବ, ଯାହା ଫଳରେ ପ୍ରେରିତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ ପରେ ଆପତ୍ତି ରଶ୍ମି ତୀବ୍ରତା ସାପେକ୍ଷରେ ରଶ୍ମି ତୀବ୍ରତାର ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ହ୍ରାସ ଘଟିବ, ଏବଂ ଏହାର ହ୍ରାସ ଅନୁପାତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡର ଓଜନ କିମ୍ବା କ୍ଷେତ୍ରୀୟ ଘନତା ସହିତ ଋଣାତ୍ମକ ଘାତାଙ୍କୀୟ ହେବ।
I = I_0 e ^ −λm⇒m = 1 / λln (I_0 / I)
I_0 : ପ୍ରାରମ୍ଭିକ ରଶ୍ମି ତୀବ୍ରତା
I : ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ପ୍ରସାରଣ ପରେ ରଶ୍ମି ତୀବ୍ରତା
λ : ପରିମାପିତ ବସ୍ତୁର ଅବଶୋଷଣ ଗୁଣାଙ୍କ
m : ପରିମାପିତ ବସ୍ତୁର ଘନତା/କ୍ଷେତ୍ରୀୟ ଘନତା
ଉପକରଣ ହାଇଲାଇଟ୍ସ
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ସେନ୍ସର ଏବଂ ଲେଜର ସେନ୍ସର ମାପର ତୁଳନା
● ବିସ୍ତୃତ ରୂପରେଖା ଏବଂ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକର ମାପ: ଉଚ୍ଚ-ଗତି ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟତା (60 ମିଟର/ମିନିଟ୍) ସହିତ ମିଲିମିଟର ସ୍ଥାନିକ ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ କ୍ଷେତ୍ରୀୟ ଘନତା ରୂପରେଖା ମାପ।
● ଅଲ୍ଟ୍ରା ପ୍ରସ୍ଥ ମାପ: 1600 ମିମିରୁ ଅଧିକ ପ୍ରସ୍ଥ ଆବରଣ ସହିତ ଅନୁକୂଳନୀୟ।
● ଅଲ୍ଟ୍ରା ହାଇ ସ୍ପିଡ୍ ସ୍କାନିଂ: ୦-୬୦ ମିଟର/ମିନିଟ୍ ଆଡଜଷ୍ଟେବଲ୍ ସ୍କାନିଂ ଗତି।
● ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ମାପ ପାଇଁ ଅଭିନବ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ରଶ୍ମି ଡିଟେକ୍ଟର: ପାରମ୍ପରିକ ସମାଧାନ ଅପେକ୍ଷା 10 ଗୁଣ ଦ୍ରୁତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା।
● ଉଚ୍ଚ-ଗତି ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟତା ସହିତ ରେଖୀୟ ମୋଟର ଦ୍ୱାରା ଚାଳିତ: ପାରମ୍ପରିକ ସମାଧାନ ତୁଳନାରେ ସ୍କାନିଂ ଗତି 3-4 ଗୁଣ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଛି।
● ସ୍ୱୟଂ-ବିକଶିତ ଉଚ୍ଚ-ଗତି ମାପ ସର୍କିଟ: ନମୁନା ଗ୍ରହଣ ଆବୃତ୍ତି 200kHZ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ବନ୍ଦ ଲୁପ୍ ଆବରଣର ଦକ୍ଷତା ଏବଂ ସଠିକତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିଥାଏ।
● ପତଳା କରିବା କ୍ଷମତା କ୍ଷତିର ଗଣନା: ସ୍ପଟ୍ ପ୍ରସ୍ଥ 1 ମିମି ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଛୋଟ ହୋଇପାରେ। ଏହା ଧାର ପତଳା କରିବା କ୍ଷେତ୍ରର ରୂପରେଖା ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡର ଆବରଣରେ ସ୍କ୍ରାଚ୍ ଭଳି ବିସ୍ତୃତ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ମାପିପାରିବ।
ସଫ୍ଟୱେର୍ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍
ମାପ ପ୍ରଣାଳୀର ମୁଖ୍ୟ ଇଣ୍ଟରଫେସର କଷ୍ଟମାଇଜେବଲ୍ ପ୍ରଦର୍ଶନ
● ପତଳା କ୍ଷେତ୍ର ନିର୍ଣ୍ଣୟ
● କ୍ଷମତା ନିର୍ଣ୍ଣୟ
● ସ୍କ୍ରାଚ୍ ନିର୍ଣ୍ଣୟ
ଟେକ୍ନିକାଲ୍ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକ
| ଆଇଟମ୍ | ପାରାମିଟର |
| ବିକିରଣ ସୁରକ୍ଷା | ଉପକରଣ ପୃଷ୍ଠରୁ 100mm ର ବିକିରଣ ମାତ୍ରା 1μsv/h ରୁ କମ୍। |
| ସ୍କାନିଂ ବେଗ | ୦-୬୦ମି/ମିନିଟ୍ ଆଡଜଷ୍ଟଯୋଗ୍ୟ |
| ନମୁନା ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସୀ | ୨୦୦କିଲୋ ହର୍ଜ |
| ଉତ୍ତର ଦେବା ସମୟ | ＜0.1 ମିଲିସେକେଣ୍ଡ |
| ମାପ ପରିସର | ୧୦-୧୦୦୦ ଗ୍ରାମ/㎡ |
| ସ୍ପଟ୍ ଓସାର | 1mm、3mm、6mm ଇଚ୍ଛାଧୀନ |
| ମାପ ସଠିକତା | ପି/ଟି≤୧୦%୧୬ ସେକେଣ୍ଡରେ ଇଣ୍ଟିଗ୍ରାଲ୍:±2σ：≤±ସତ୍ୟ ମୂଲ୍ୟ×0.2‰ କିମ୍ବା ±0.06g/㎡; ±3σ：≤±ସତ୍ୟ ମୂଲ୍ୟ×0.25‰ କିମ୍ବା ±0.08g/㎡;୪ ସେକେଣ୍ଡରେ ଇଣ୍ଟିଗ୍ରାଲ୍:±2σ：≤±ସତ୍ୟ ମୂଲ୍ୟ×0.4‰ କିମ୍ବା ±0.12g/㎡; ±3σ：≤±ସତ୍ୟ ମୂଲ୍ୟ× 0.6‰ କିମ୍ବା ±0.18g/㎡; |
